技术参考
无尘室等级：ISO 14644 与美标 Class 对照
多数美国团队仍以 Class 100、1,000 或 10,000 描述洁净室。现行标准是 ISO 14644-1。本页同时列出两套体系，并给出每立方米与每立方英尺的粒子限值，避免在规格表述上产生歧义。
等级对照与粒子限值
表中限值针对大于或等于 0.5 µm 的粒子，这是比较无尘室等级时最常用的粒径。
| ISO 14644-1 | FS 209E（美国，2001 年废止） | 粒径 ≥0.5 µm 粒子数 / m³ | 粒径 ≥0.5 µm 粒子数 / ft³ | 典型用途 |
|---|---|---|---|---|
| ISO 3 | Class 1 | 35 | 1 | 关键半导体光刻与掩模区 |
| ISO 4 | Class 10 | 352 | 10 | 先进半导体晶圆厂关键工艺区 |
| ISO 5 | Class 100 | 3,520 | 100 | 半导体晶圆厂及关键工艺区 |
| ISO 6 | Class 1,000 | 35,200 | 1,000 | 半导体封装与测试、精密光学组装 |
| ISO 7 | Class 10,000 | 352,000 | 10,000 | 电子组装、先进封装（倒装芯片 / 扇出 / 晶圆级封装） |
| ISO 8 | Class 100,000 | 3,520,000 | 100,000 | 高密度算力与服务器组装、光模块组装、洁净要求较低的组装区 |
| ISO 9 | — | 35,200,000 | 1,000,000 | 属于受控环境而非无尘室 |
这些数值如何得出
Cn = 10^N × (0.1 / D)^2.08 ISO 14644-1 将限值定义为 Cn = 10^N × (0.1 / D)^2.08，其中 N 为等级序号，D 为粒径（µm）。可用该公式核对上表：ISO 5 在 0.5 µm 下为 3,517 粒/m³，与上表中的数值一致。
关于 FS 209E 的说明
美国联邦标准 209E 已于 2001 年 11 月 29 日废止，由 ISO 14644-1 取代。Class 编号已不再是现行标准，但在美国业界仍是常见简称。当美国客户提到“Class 10,000”时，我们会以书面方式确认其对应 ISO 7，而不会想当然。
交付美国项目
把设备交付到美国与交付到国内并不相同。以下是我们在前期就会处理的事项。
电气：480 V / 三相 / 60 Hz
供往美国站点的设备按北美电压、相制与频率设计，并在项目需要时采用 UL 认证元件，而不是事后由 50 Hz 方案改制。
全程双单位
送审文件与规格书同时给出公制与美制单位 —— 风量以 m/s 与 ft/min、尺寸以 mm 与 inch、产能以 kg 与 lb —— 现场无需再做换算。
面向美国送审流程的文档
图纸包、材料证明、过滤器检测报告与 FAT 记录可按您送审流程要求的格式编制，语言为英文。
运输、卸货与安装支持
模块化系统按集装箱运输设计，并提供符合美国交付要求的包装与标识；安装指导或调试支持可按项目报价。
时区与沟通
美国项目由指定工程师负责，并安排适配跨时区的会议。我们更愿意给出可实现的响应时限，而不是承诺无法兑现的即时回复。
美国项目需关注的标准
这些标准用于设计与文档层面的对齐，并非笼统的认证声明。某项标准是否适用、合规需要满足哪些要求，均需结合具体项目与您的工程师以及当地主管机关（AHJ —— 即负责检查与批准该安装工程的市、县或州级机构；各地规定有所不同）共同确认。
ISO 14644-1 / -2
无尘室的分级与监测全球（包括美国）通用的分级依据。第 2 部分涵盖移交后证明房间仍符合其等级所需的监测 —— 这也正是我们环境监测系统的设计出发点。
IEST-RP-CC series
推荐作业规范（美国环境科学与技术学会）美国无尘室工程师最常引用的 HEPA/ULPA 过滤器检漏、泄漏检测与房间性能验证方法。我们的验证范围与这些方法保持一致。
FS 209E
美国联邦标准 209E（2001 年 11 月 29 日废止）已非现行标准，但美国团队仍以 Class 100 / 1,000 / 10,000 / 100,000 描述房间。我们同时提供两套表述，避免对所供设备产生歧义。
NFPA 318
半导体制造设施的消防保护规定美国晶圆厂类建筑的消防要求，影响材料选型（夹芯板的耐火等级）、探测与疏散设计 —— 当我们的房间位于美国既有设施内时尤为重要。
UL listing / NEC (NFPA 70)
设备安全认证与电气安装美国主管机关通常要求使用经认证的元件并符合 NEC 的安装要求。FFU 机组、控制柜与监测硬件均可按美国项目选用 UL 认证元件。
ASHRAE 62.1 / 90.1
通风与能耗美国机电工程师设计所依据的通风量与能耗要求。我们的空气处理范围可与项目的 ASHRAE 设计基准相衔接。